無塵室等級的標準主要參照國際標準化組織（ISO）所制定的ISO-14644-1標準。這個標準是根據空氣中微粒的數量和大小來判斷無塵室的潔淨度，從而確保特定環境內的潔淨水平。雖然美國聯邦標準Fed-Std-209E在2001年已經被廢止，但許多國家和地區，包括台灣，仍然使用ISO標準來作為無塵室等級的參照。隨著技術的進步，無塵室在現代工業中的應用也將越來越廣泛。
無塵室等級與潔淨度
無塵室的等級是根據其潔淨度來分類的，這些等級反映了在特定室內空間內，每立方米空氣中最大的允許微粒數量。這些微粒的大小和數量是通過落塵測試來測定的，這也是判斷無塵室是否符合特定潔淨等級的重要方法。不同的企業和產品對於無塵室的要求可能不同，這取決於產品的良率要求和無塵室的運行狀態。
無塵室等級對照表：ISO-14644-1與Fed-Std-209E
以下是ISO-14644-1標準與Fed-Std-209E標準的對照表，這些標準定義了每個等級下每立方英尺空氣中允許的最大微粒數量。
| ISO-14644-1 | Federal-Standard-209E | 每單位空氣量的微塵粒子數上限濃度（顆粒尺寸為0.5µm） |
| ISO 3 | Class 1 | 每1立方英尺不超過1粒 |
| ISO 4 | Class 10 | 每1立方英尺不超過10粒 |
| ISO 5 | Class 100 | 每1立方英尺不超過100粒 |
| ISO 6 | Class 1,000 | 每1立方英尺不超過1,000粒 |
| ISO 7 | Class 10,000 | 每1立方英尺不超過10,000粒 |
| ISO 8 | Class 100,000 | 每1立方英尺不超過100,000粒 |
無塵室等級標準應用範例
案例1：半導體工廠的無塵室需求
一家半導體製造公司需要在極高潔淨度的環境中生產晶片，因此他們選擇了ISO 5等級的無塵室，這意味著每立方英尺空氣中的微塵粒子數不能超過100粒。這樣的環境大大降低了產品瑕疵的風險，提高了生產良率。
案例2：製藥工廠的無塵室應用
一個製藥廠在進行無菌製劑生產時，選擇了ISO 7等級的無塵室來控制污染。這個等級確保每立方英尺空氣中的微塵粒子數不超過10,000粒，滿足了藥品生產的潔淨要求，確保產品的安全性和有效性。